営業 Bくん

「あいたたた...。まいったな～。」

 

Aくん

「どうした？ロボットみたい動きだなー。」

 

営業 Bくん

「朝起きたら、左腕が肩より上にあがらなくて。。スジでも違えたのかなぁ？」

 

Aくん

「それは、四十肩だな。治るまでちょっと時間掛かるぞ。」

 

営業 Bくん

「まあ、腕を上げなければ大丈夫だから、気にしないでおこう。」

 

ピンポーン．．．。

 

Aくん

「あ、お客様がいらっしゃったみたいだぞ。」

 

営業 Bくん

「は～い！U課長お待ちしておりました！」

 

グキッ！！！

 

営業 Bくん

「ぎゃ～！！肩が痛いー！！」

 

U課長

「Bくん、おいおい、大丈夫かい？　僕も四十肩で困ってるから、それ分かるよー。」

 

Aくん

「いらっしゃいませ！！　え、U課長も四十肩なんですかー、大変ですね。ところで、

　今日は難解なテーマをお持ちということで、早速どんなものか拝見させていただけますか？」

 

U課長

「今回見たいのはこの透明な基板なんだけど、裏面に微小なキズが付いているんだ。」

 

営業 Bくん

「え？これ目を凝らしても、キレイな基板に見えるんですけど。」

 

U課長

「目で確認できるレベルじゃないんだよ。白色干渉計でようやく見えるキズだからね。

　でも白色干渉計は視野がものすごく小さいから、別の方法で観察できないかな。」

 

営業 Bくん

「そんな微妙なキズがサンプルの裏面にあるのなら、

　平行光のバックライトで観察するしかないですね！」

 

U課長

「残念ながら、裏面側には機器構成上、照明を設置できなくて、

　表面にカメラも照明も設置する必要があるんだ。」

 

営業 Bくん

「これ、だいぶ無理ゲーですねー。」

 

Aくん

「いやいや、諦めるのはまだ早いぞ。

　こんなこともあろうかと、とっておきのものをご用意しました！さあ、こちらです！！」

 

U課長

「うわ、すっごいレンズが付いたこの装置は一体なに！？」

 

Aくん

「はい、これは、高感度瞳分割偏光装置と言います。」

 

U課長

「え！？1回聞いただけじゃわからないややこしい名前だね！」

 

Aくん

「名前は噛まずには言えませんが、これを使うと平坦部を無視して、

　非常に微細な傾き成分だけを取り出すことが出来るんですよ。」

 

U課長

「ということは、裏面にあるキズも表面の平坦部の影響を受けずに観察できるの！？」

 

Aくん

「おっしゃる通りです。

　例えば、これはガラスに金属を蒸着させた一般的な鏡ですが、

　一見、真っ平に見えるこの鏡も、この装置を通して見てみると．．．。」

Aくん

U課長

「うわ！すごいボコボコだ！これが本当にこの平坦な鏡なの！？」

 

Aくん

「はい、高感度瞳分割偏光装置は0.1度以下の傾きを克明に捉えることができるので、

　目視では平坦に見える鏡も、実はボコボコに見えるという訳です！」

 

U課長

「早速、このサンプルも見てみてくれないかい？」

 

Aくん

「かしこまりました。ここにセッティングして、ワークの傾きを調整して、正対させると、

　はい！この通りです！」

 

U課長

「おー！これはすごい！！白色干渉計以外で初めてこのキズが確認できるよ！

　これだけ大きな視野で、表面のガラスの影響も受けずに観察できるなんて、信じられない！」

 

Aくん

「この高感度瞳分割偏光装置は非常にわずかな傾き成分を検出する特性上、

　対象物をどれだけ高精度に保持できるかという点と、

　ウエハーやガラスのように検査対象物自体が平坦である事が前提になりますが、

　それさえクリアできれば、他では実現できないような観察が可能です。」

 

U課長

「まさか、この難題を解決できる装置があるとは思いもしなかったよ！

　早速戻って検討させてもらうよ！」

 

Aくん

「ぜひ、よろしくお願いいたします！！

　こちらの装置を使えば最大Φ100mmの広視野をワンショットで撮像でき、

　従来の同軸照明では検出が困難だった、鏡面ワークのnm～umオーダーの

　微細な傷や傾き成分を検出できますので。」

 

U課長

「ウエハーの反りの検査も考えているので、合わせて検討させてもらうよ！

　あれ？ところでBくんはあんなところでマットを広げてどうしたのかな？」

 

営業 Bくん

「U課長、さあさあ、どうぞ！ここに横になってください！

　私も高感度 “健康”装置となって、U課長の肩の凝りをほぐして差し上げましょう！」

 

U課長

「いや、それは遠慮させてもらおうかな…笑」

 

Aくん

「まず自分の肩を治すのが先だろー！」