光量モニタリングセンサ
MDFシリーズ／MDF-Aシリーズ
- リアルタイムで光量を管理
- あらゆる生産プロセスの光量監視に
- 低照度から高照度まで対応
- 250nm～400nmのUV波長を検出
- 管理方法に合わせて2種類から選択
特長
製品構成
- ファイバユニット
UV光による劣化をブロック。
ファイバ長2m。
- アンプユニット
常時モニタリングタイプ、閾値管理タイプの2種類をご準備。
DINレールに簡易に設置。
- UVセンサヘッド
250nm～400nmのUV光を受光できる
UVセンサヘッド。
特長
- 光源の異常を即検出
日勤管理だけでは検出できない生産中の光量低下を検出。
生産ラインに組み込み、常時モニタリングをしてトレーサビリティの確立が可能です。
- 250nm～400nmのUV光をセンシング
UVセンサヘッドをファイバユニットの先端に取り付けることで、UV光をセンシング。
UVセンサヘッドは工具レスで脱着可能です。
イメージ：250nm～400nmのUV光をセンシング
UVセンサヘッドを取り外すことで可視光～赤外光（400nm～1000nm）もセンシングできます。
- 低照度から高照度まで対応
標準タイプ、高感度タイプ2種類を用意しました。
- 250nm〜400nm
（UVセンサヘッドあり） -
- 標準タイプ：0.2〜60mW/cm2
- 高感度タイプ：0.01〜3mW/cm2
※365nm（参考値）
- 400nm〜1000nm
（UVセンサヘッドなし） -
- 標準タイプ：300〜50,000lx
- 高感度タイプ：10〜1,500lx
※White光源（参考値）
- 光量に合わせてゲイン（感度）切替
5段階切り替えで、幅広い用途にご利用いただけます。
- 外部機器への信号出力・設定が可能
制御機器と連動した運転が可能で、量産設備への展開が容易です。
- コンパクト設計
コンパクトなアンプユニットはDINレールに固定。
設置スペースで悩むことはありません。
- 過酷環境でも安心
標準タイプ、高感度タイプ2種類を用意しました。
ファイバユニットは石英ガラスファイバを採用。
ステンレス製のフレキシブルカバーで保護し、
耐光性・耐熱性を確保しました。
付属の固定用ナットにてファイバ先端部を共締め固定できます。
常時モニタリングタイプ
常時モニタリングにはMDF-Aシリーズ(MDF-TA/MDF-HTA)
用途例
光量の数値記録
リアルタイムの光量管理
光量フィードバック管理 など
光量をリアルタイムに管理・監視
光量に合わせて電圧1-5Vもしくは電流4-20mAでアナログ出⼒します。
エラー出⼒の代わりにアナログ値をリアルタイムに出⼒するので、明るさの数値管理が可能です。
出⼒データから調光値を調整したい、装置稼働中のUV照射器の光量変化をモニタリング・記録したいなどの⽤途に適しています。
光量(明るさ)をリアルタイムに数値化
光量(明るさ)を0〜1,000の数値で管理することが可能。
また、基準値を設けることで現在の光量を相対値（0〜999.9％）で表⽰できるため、
現在の光量が基準値に対してどのような状態かをモニターできます。
MDF-A Series 応⽤事例
(1)フィードバック機能
閾値を設定して、閾値から外れた場合に光量を⾃動調整。
(2)積算光量の管理
光量を常時モニタリングすることにより実現。
MDF-Aシリーズ 仕様
| 種類 | 標準 | 高感度型 | |
|---|---|---|---|
| 単独型 | 単独型 | ||
| 型式 | MDF-TA | MDF-HTA | |
| 測定光量範囲（参考値）※1 | 【365nm】0.2～60mW/cm2 【White光源】300～50,000lx |
【365nm】0.01～3mW/cm2 【White光源】10～1,500lx |
|
| 定格 | 電源電圧 | DC12～24V±10％ リップル含む | |
| 消費電流 | 40mA / 24V ※アナログ出力含まず | ||
| 応答時間 | 100μs（最短）※同期OFF、平均回数1回 | ||
| 表示灯/デジタル表示※2 | 同期表示灯：橙色 / 7セグメント8桁表示（赤4桁＋緑4桁） | ||
| 外部入力 | 同期モード設定と入力時間に応じた機能自動切替 （同期、外部ゲイン設定、ティーチング） |
||
| 外部入力極性 | NPN/PNP切替式 NPN：0VでON、PNP：電源電圧でON ※外部入力極性は初期化をおこなっても初期値には戻りません。 |
||
| アナログ出力 | 電圧 / 電流 切替式 電圧出力：1～5V、出力インピーダンス100Ω以下 電流出力：4～20mA、負荷インピーダンス300Ω以下 |
||
| 感度設定 | ゲイン設定（5段階、ボタン操作/外部入力） | ||
| 絶縁抵抗 | 20MΩ以上（DC500Vにて） | ||
| 耐環境性 | 使用周囲温度 / 湿度 | -25～+55℃ / 35～85%RH（氷結・結露しないこと） | |
| 保存周囲温度 / 湿度 | -40～+70℃ / 35～85%RH（氷結・結露しないこと） | ||
| 耐振動 | 10～55Hz 複振幅1.5mm X,Y,Z各方向 2時間 | ||
| 耐衝撃 | 約50G（500m/s²） X,Y,Z各方向 3回 | ||
| 保護回路 | 電源逆接続保護 | ||
| 保護等級 | IP50（IEC 60529） | ||
| 適用法令 | CEマーキング | EMC規格：EN61000-6-2、EN55011適合 | |
| 環境 | RoHS指令（2011/65/EU）、中国RoHS（令第32号） | ||
| 社内規格 | 耐ノイズ：Feilen Level 3クリア | ||
| 材質 | ケース：PPE、カバー：PC | ||
| 質量（コード含む） | 約65g | ||
| 付属品 | 取付金具 | ||
- ※1 測定光量範囲は、波長によって異なります。
- ※2 表示値：モニタ値（0～1000）、相対値（0～9999）
MDF-Aシリーズ 外観図
詳細な図面のご請求はお問合せフォームよりお願いいたします。
閾値管理タイプ
閾値管理にはMDFシリーズ
(MDF-TN/MDF-HTN/MDF-TMN/MDF-TSN)
用途例
照射器の劣化検知
照射器の点灯確認
光量基準の合否判定 など
基準値からのズレを検知してエラー出⼒
予め基準となる明るさをティーチングし、基準値からのズレ量をモニタリング。
閾値から外れた場合にエラー出⼒します。
エラー出⼒を受けて装置を⽌めたい、UV照射器の交換をしたいなどの場合に適しています。
3種類の閾値設定
(1)ゾーンティーチング
現在光量をティーチングすることで、内部設定(初期値±10%)の上下限値を⾃動設定
(2)下限値ティーチング
光量をデフォルト値/下限値の順に調光し、それぞれを設定値としてティーチング
(3)上下限値ティーチング
光量をデフォルト値/上限値/下限値の順に調光し、それぞれを設定値としてティーチング
3種類のエラー検出タイミング設定
(1)オンディレイ
⼀定時間以上の光のみを検出したい場合に選択
(2)オフディレイ
光を検出終了後もエラーを規定時間出⼒したい場合に選択
(3)ワンショット
光を検出した瞬間から規定時間のみエラーを出⼒したい場合に選択
最⼤8台まで連結することが可能で省配線
連結型の親機・⼦機を使⽤することで最⼤8台まで連結が可能。
⼦機の配線が出⼒線のみになるため省配線。配線⼯数が削減。
MDFシリーズ 仕様
| 種類 | 標準 | 高感度型 | |||
|---|---|---|---|---|---|
| 単独型 | 連結型親機 | 連結型子機 | 単独型 | ||
| 型式 | MDF-TN | MDF-TMN | MDF-TSN | MDF-HTN | |
| 測定光量範囲（参考値）※1 | 【365nm】0.2～60mW/cm2 【White光源】300～50,000lx |
【365nm】0.01～3mW/cm2 【White光源】10～1,500lx |
|||
| 電源電圧 | DC12～24V±10％ リップル含む | ||||
| 消費電流 | 45mA以下/24V | ||||
| 応答時間 | 38.4ms（min）※パルス点灯時は、最短の積算時間 | ||||
| 表示灯/デジタル表示※2 | 同期・出力表示灯：橙色 / 7セグメント8桁表示（赤4桁＋緑4桁） | ||||
| 外部入力 | モニタリング同期入力、外部ティーチング入力 | ||||
| 制御出力 | 1出力 NPN オープンコレクタ 100mA / 30V以下 負荷電流：100mA以下 残留電圧：1.8V以下 |
||||
| 出力方式 | ライトオン / ダークオン 切替式 | ||||
| 感度設定 | ゲイン設定（5段階、ボタン操作/外部入力） | ||||
| 絶縁抵抗 | 20MΩ以上（DC500Vにて） | ||||
| タイマ機能 | OFF、オンディレイタイマ、オフディレイタイマ、ワンショットタイマ | ||||
| タイマ時間 | 1～9999ms | ||||
| 耐環境性 | 使用周囲温度 / 湿度 | -25～+55℃ / 35～85%RH（氷結・結露しないこと） | |||
| 保存周囲温度 / 湿度 | -40～+70℃ / 35～85%RH（氷結・結露しないこと） | ||||
| 耐振動 | 10～55Hz 振幅1.5mm X,Y,Z各方向 2時間 | ||||
| 耐衝撃 | 約50G（500m/s²） X,Y,Z各方向 3回 | ||||
| 保護回路 | 電源逆接続保護 | ||||
| 保護等級 | IP50（IEC 60529） | ||||
| CEマーキング | - | ||||
| 材質 | ケース：PPE、カバー：PC | ||||
| 質量（コード含む） | 約65g | ||||
| 付属品 | 取付金具 | ||||
- ※1 測定光量範囲は、波長によって異なります。
- ※2 表示値：モニタ値（0～1000）、相対値（0～9999）
MDFシリーズ 外観図
詳細な図面のご請求はお問合せフォームよりお願いいたします。
センサヘッドファイバ
UVセンサヘッド NF-MTA08UV
250nm～400nmのUV光を受光できるUVセンサヘッド※。
Φ3×14.5mmの小型サイズ。
手が届きにくいスペースへの設置も可能。工具レスで脱着可能です。
※UVセンサヘッドを取り外すことで可視光～赤外光（400nm～1000nm）もセンシングできます。
UVセンサヘッド 仕様
| 型式 | NF-MTA08UV |
|---|---|
| 使用周囲温度 | -40～＋200℃ |
| 質量 | 10g |
| 付属品 | M6取付金具、ロックナット、歯付座金×2、六角ナット×2 |
UVセンサヘッド 外観図
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ファイバユニット
ファイバユニットは石英ガラスファイバを採用。
ステンレス製のフレキシブルカバーでUV光による劣化を防止。
-60～200℃の過酷環境でも安心してご使用いただけます。
ファイバ長2m。
UVセンサヘッド 仕様
| タイプ | UV光源用 |
|---|---|
| 型式 | NF-MTH08 |
| 種類 | 耐熱（ガラスファイバ）M4ネジ※1 |
| 使用周囲温度 | -60～＋200℃ |
| ファイバ長 | 2,000mm |
| 最小曲げ半径 | R25mm |
| 質量 | 40g |
- ※1 UVセンサヘッドに付属するM6取付金具を使用すればM6ネジとして使用可能です。
ファイバユニット 外観図
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ファイバユニットNF-MTH08＋UVセンサヘッドNF-MTA08UV
ファイバユニットNF-MTH08＋UVセンサヘッドNF-MTA08UV＋M6取付金具
事例
多様なアプリケーションで活躍
コーティング剤のUV硬化
光量をリアルタイムに監視
ウエハのダイシングテープのUV剥離
低光量でもUV光を検出
液晶と基板の接着
必要光量が出ていなければ異常検知
CIPGのUV硬化
点灯・消灯の確認
